什么是壓力傳感器?
壓力傳感器是能感受壓力信號(hào),并能按照一定的規(guī)律將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成可用的輸出的電信號(hào)的器件或裝置。
壓力傳感器通常由壓力敏感元件和信號(hào)處理單元組成。按不同的測(cè)試壓力類型,壓力傳感器可分為表壓傳感器、差壓傳感器和絕壓傳感器。
壓力傳感器的工作原理
1、壓電式壓力傳感器
壓電式壓力傳感器主要基于壓電效應(yīng),利用電氣元件和其他機(jī)械把待測(cè)的壓力轉(zhuǎn)換成為電量,再進(jìn)行相關(guān)測(cè)量工作的測(cè)量精密儀器。
2、壓阻壓力傳感器
壓阻壓力傳感器主要基于壓阻效應(yīng)。壓阻效應(yīng)是用來描述材料在受到機(jī)械式應(yīng)力下所產(chǎn)生的電阻變化。不同于上述壓電效應(yīng),壓阻效應(yīng)只產(chǎn)生阻抗變化,并不會(huì)產(chǎn)生電荷。
3、電容式壓力傳感器
電容式壓力傳感器是一種利用電容作為敏感元件,將被測(cè)壓力轉(zhuǎn)換成電容值改變的壓力傳感器。這種壓力傳感器一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個(gè)電極,當(dāng)薄膜感受壓力而變形時(shí),薄膜與固定電極之間形成的電容量發(fā)生變化,通過測(cè)量電路即可輸出與電壓成一定關(guān)系的電信號(hào)。電容式壓力傳感器屬于極距變化型電容式傳感器,可分為單電容式壓力傳感器和差動(dòng)電容式壓力傳感器。
4、電磁壓力傳感器
電磁壓力傳感器是多種利用電磁原理的傳感器統(tǒng)稱,主要包括電感壓力傳感器、霍爾壓力傳感器、電渦流壓力傳感器等。
電感式壓力傳感器的工作原理是由于磁性材料和磁導(dǎo)率不同,當(dāng)壓力作用于膜片時(shí),氣隙大小發(fā)生改變,氣隙的改變影響線圈電感的變化,處理電路可以把這個(gè)電感的變化轉(zhuǎn)化成相應(yīng)的信號(hào)輸出,從而達(dá)到測(cè)量壓力的目的。
霍爾壓力傳感器是基于某些半導(dǎo)體材料的霍爾效應(yīng)制成的。霍爾效應(yīng)是指當(dāng)固體導(dǎo)體放置在一個(gè)磁場(chǎng)內(nèi),且有電流通過時(shí),導(dǎo)體內(nèi)的電荷載子受到洛倫茲力而偏向一邊,繼而產(chǎn)生電壓(霍爾電壓)的現(xiàn)象。電壓所引致的電場(chǎng)力會(huì)平衡洛倫茲力。通過霍爾電壓的極性,可證實(shí)導(dǎo)體內(nèi)部的電流是由帶有負(fù)電荷的粒子(自由電子)之運(yùn)動(dòng)所造成。
電渦流式傳感器是利用電渦流效應(yīng).將位移、厚度、溫度、材料損傷等非電量轉(zhuǎn)換為阻抗的變化(或Q值的變化)。從而進(jìn)行非電量測(cè)量的壓力傳感器。所謂電渦流效應(yīng),就是根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)定律.塊狀金屬導(dǎo)體置于變化的磁場(chǎng)中或在磁場(chǎng)中作切割磁力線運(yùn)動(dòng)時(shí),導(dǎo)體內(nèi)將產(chǎn)生呈旋渦狀的感應(yīng)電流,這種電流像水中旋渦那樣在導(dǎo)體內(nèi)轉(zhuǎn)圈。所以稱之為電渦流或渦流,這種現(xiàn)象就稱為電渦流效應(yīng),簡(jiǎn)稱渦流效應(yīng)。